期刊全称
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
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Print ISSN
0734-2101
出版社
American Institute of Physics
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开放出版
Open Access
否
出版类型
期刊 - Journal
SNIP
0.9
SJR
0.583
Q2
38 / 123
148 / 411
21 / 54