期刊全称
Materials Science in Semiconductor Processing
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Print ISSN
1369-8001
出版社
Elsevier
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开放出版
Open Access
否
出版类型
期刊 - Journal
SNIP
1.098
SJR
0.695
Q1
87 / 596
61 / 377
98 / 455
72 / 411