期刊全称
IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference, Proceedings
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Print ISSN
1523-553X
出版社
IEEE
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开放出版
Open Access
否
出版类型
会议论文集 - Conference Proceedings
SNIP
0.255
SJR
0.208
Q4
642 / 693
272 / 297
286 / 336
236 / 246