期刊全称
Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
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Print ISSN
1932-5150
出版社
SPIE
Scopus链接
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开放出版
Open Access
否
出版类型
期刊 - Journal
SNIP
0.78
SJR
0.394
Q2
287 / 693
207 / 596
120 / 246
87 / 192
184 / 411